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SEMICON Japan 2011

SEMICON Japan 2011
見どころ情報

当社では来る2011年12月7日(水)から9日(金)の3日間、幕張メッセで開催されます『セミコンジャパン2011』に出展し、ウエハ薄厚化、構造複雑化へ表面形状検査、平坦度検査に「ウエハ検査ソリューション」。高精度IC外観検査の装置組込をより自由にした安永の外観検査モジュール。デバイス非破壊解析に3次元CT_X線から発熱解析不良個所特定など「解析ソリューション」を提供します。


この機会に丸文ブースへのご来場を心よりお待ち申し上げます。



開 催 概 要


出展メーカー・製品一覧
ウエハ欠陥検査ソリューション

株式会社 安永  IC外観検査ユニット VM22
Precitec Group 社  非接触厚さ・反り検査装置
ソフトワークス株式会社  低価格AFM解析装置
シュリーレン検査システム用途  ・ウエハ薄加工後の歩留まり改善の最適
 ・ウエハ破損に伴う設備復旧コストの低減
 ・ウエハ/チップ割れの早期原因特定
 ・ダイシング後のチップ欠陥検出でNG品の流出防止

解析ソリューション

株式会社ユニハイトシステム  高分解能X線CTシステム
DCGシステムズ社  ロックイン赤外線発熱解析装置

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