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レーザ加工

Coherent GmbH、LaserLineほかの製品を応用したレーザ加工システムです。エキシマレーザと大型ステージシステムによる高精度のレーザ微細加工や、高出力半導体レーザによるレーザ熱加工などを提案しています。


■ エキシマレーザ光学システム	コヒレントGmbH
■ プロセスモニタリングシステム	プラズモ
■ 高出力半導体レーザ装置	レーザライン
■ ファイバー付き高出力LD装置 LDFシリーズ	レーザライン
■ ファイバー付き高出力LDモジュール LDMシリーズ	レーザライン
■ エキシマレーザ加工装置 M-1T/M-3T/M-10T	丸文
■ マルチビームレーザドライ加工装置 M-15TM	丸文
■ レーザドライ加工装置 M-15TG/M-1TUV	丸文
■ LIPAA加工装置	丸文
■ 固体-ファイバーレーザ多波長レーザ加工装置 DWL-WS	丸文
■ ハイブリッドエキシマレーザ加工装置 M-ME1000	丸文
■ エキシマレーザ加工／描画装置 OPTEL PRO	丸文
■ レーザ微細加工用高精度ステージシステム	丸文
■ 第8世代ガラス基板用縦型ステージ	丸文
■ 超精密サーフェイステージシステム	丸文
■ 透過樹脂材同士のレーザ樹脂溶着技術	丸文
■ 光弾性法を利用した応力モニタリング技術	丸文
■ 積層透過樹脂材同士のレーザ樹脂溶着技術	丸文
■ エキシマレーザドライ加工装置 M-12T/ts	丸文
■ 太陽電池製造向けレーザパターニング装置	丸文