ウェハ検査ソリューション

ウェハ検査ソリューション

ガラス、化合物、シリコン等各種ウェハーの状態把握、異常解析に関して最適なソリューションを提供し、歩留りの低下・不良品流出・品質保証に貢献します。

表面欠陥検査

表面欠陥検査

表面欠陥検査

ガラス、化合物、シリコン等ウェハー加工時における、表面状態把握、異常解析が可能です。広大なエリアにおいてサブミクロン以下の欠陥を可視化させるマクロ検査ユニットから、非破壊でナノ領域の表面解析が可能なミ...

マクロ外観検査

マクロ外観検査装置 NSXシリーズ

マクロ外観検査装置 NSXシリーズ

多様な照明設定と検査アルゴリズムにより様々な欠陥を検出すると共にNon-Killer欠陥の検出を最小限にする事を可能とした外観検査装置です。また、Xsoft(Operation Software)の採...

メーカー
ルドルフテクノロジーズ
Rudolph Technologies, Inc.

厚み検査

高速非接触厚さ検査装置

高速非接触厚さ検査装置

非接触でウェハ、樹脂、支持基板及びSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みを高速で高精度に測定します。
測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高...

メーカー
プレシテック
Precitec

複合システムのご提案

複合機のご提案

複合機のご提案

シュリーレン光学ユニットと厚み計測ユニットを連動させ、XYステージを組み合わせることで2次元観察から3次元計測を実現。

デモルームのご案内

ウェハ検査デモルームのご案内

ウェハ検査デモルームのご案内

弊社デモルームには表面観察、厚み計測が可能な各種ユニットを常備設置しており、お客様の要求に合わせた各種実験が可能です。専門スタッフがおりますので何かお困りのことがございましたらいつでもご連絡下さい。

ウェハ検査ソリューションのメーカー一覧