微細転写装置ST50 (LED量産対応機)

微細転写装置ST50 (LED量産対応機)

この製品は、高輝度LEDの製造に特化したナノインプリント装置で、ウエハー上エピタキシャル層に塗布されたレジストを、数百nmピッチの凹凸パターンを有する型(モールド)を用いて転写するものです。数百nm周期の凹凸パターンを形成することで、従来LED内部で全反射により消失していた光を外部に取り出すことが可能となり、LEDの輝度を大幅に向上できます。 主な特徴として、柔軟性を有する東芝機械独自のモールドによるUV一括転写方式により、エピウエハーの大口径化に伴い増加するウエハーの反りに影響することなく均一な微細転写を可能にするとともに、一時間当たり20枚以上の高スループットの実現が可能となります。

概要

型式 微細転写装置ST50 (LED量産対応機)
転写方式 UV一括転写方式(専用モールドによる)
最大転写面積 Φ 6インチ
UV光源波長 365nm
スループット 3分以内/1枚 (基板搬送時間は含まず)