ウェハクラック検出システムMHS-300 −シュリーレン画像外観検査装置−

ウェハクラック検出システムMHS-300 −シュリーレン画像外観検査装置−

顕微鏡検査で判定困難なウェハ表面/裏面のマイクロクラック等を広い視野にて瞬時に検出し、NG品の流出を防止します。
また、ロット検査データを統計処理しウェハ割れの早期原因究明にも効果的です。
高精細3CCDカメラとシュリーレン光学系により、クラック・傷・異物の識別判定が可能です。

シュリーレン検査システム用途

  • ウェハ薄加工後の歩留まり改善の最適
  • ウェハ破損に伴う設備復旧コストの低減
  • ウェハ/チップ割れの早期原因特定
  • ダイシング後のチップ欠陥検出でNG品の流出防止

主な特長

  • ウェハ1枚での画像データ保存により、画像データレビューが可能
  • 金属顕微鏡では発見の難しいパターン面の極小クラック、研磨痕等を広視野にてスピード検出が可能
  • BG薄加工後のウェハ裏面検査に対応
  • オプションにより、基板搭載チップ観察に対応
  • 視野切り替えオプションにより、マクロ/ミクロ切り替え観察が可能
  • 12〜4インチウェハおよびダイシングフレーム(ダイシング前、後)状態での観察が可能

シュリーレン撮像法とは

1850年代に開発された超高感度可視化システムをウェハ表裏面の検査として新規開発。
表面の微笑凹凸を輝度差で「より大きく」撮像し、小さな欠陥を見逃しません。
高感度,大視野画像化技術

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