マスク詰め装置 ABMI570

マスク詰め装置 ABMI570

振り込みトレイから画像補正して取り出した
水晶ブランクを、スパッタ用マスクに装填する
装置です。

  • ターレットテーブルにより、低振動、低発塵
    かつ高速の搬送を行います。
  • マスク挿入ポイントを画像認識し、
    ダイレクトでブランクを挿入します。
  • ブランクトレイは順次供給、順次回収が
    可能です。

特長

項  目
仕  様
対象ワーク
水晶ブランク
※ポリッシュブランク(透明)も対応可能です。
ブランク寸法
1.0×0.75〜2.0×1.5mm程度 厚さ20μm以上
ブランク供給ブランクトレイ(振込み式)を最大3枚まで供給、回収
ブランク収納マスクは12段マガジンから供給
ブランク収納後に元のマガジンに回収
大きな割れ、カケのあるブランクは外観不良としてNGボックスに排出
画像位置補正トレイ上のブランク位置計測、吸着ブランクの位置計測、マスクの挿入位置計測
サイクルタイム0. 5sec/個(3225)  0. 55sec/個(2520) 
0. 6sec/個(2016)  0. 65sec/個(1612)
※ブランクトレイ、マスクの交換時間は含みません。
外形寸法W900×D850×H1,750mm(モニタ、表示灯除く)