非50Ωライン測定システム BDS

非50Ωライン測定システム BDS

Bird Diagnostic System(BDS)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムです。特にRFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常置監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。ログデータや、簡易スペクトラムアナライザ機能を利用することで、プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析を行うのにも役立ちます。
既存のセンサでは測定不可能だった非50Ωラインの測定を、是非BDSにてお試し下さい。

測定モード

トラッキングモード:数値データ、タイムプロット、ウェーブフォーム、スミスチャート
スペクトラムサーチモード:簡易スペクトラムアナライザ

デモ事例1:チャンバ間差は存在するか

エッチング装置のRF電源出力は定期的に校正しているが、マッチングボックス以降でどれだけの差があるか、検証実験を行った。
測定の結果、実際にチャンバ内に挿入されている電力に差があることが分かり、これらの差がエッチングレートなどに影響を与えている可能性がある。

デモ事例2:マッチングボックスの損失

既存のマッチングボックスが製造中止となり、今後は他社製品に交換する必要がある。そこで、マッチングボックスの損失を測定するという検証実験を行った。
測定の結果、交換後のマッチャーBの損失が大きかった。そのため、RF電源の出力を8W上昇させ、BDSの指示値を37.2Wにしてエッチングを行った。その結果、マッチングボックス交換前のプロセス状態を再現した。チャンバに近い位置で出力状態を合わせることは有効な可能性がある。

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