非50Ωライン測定システム VIP

非50Ωライン測定システム VIP

Bird VIP System(VIP)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムである、BDSの機能を絞り価格を抑えたモデルになっています。測定周波数である300kHz〜150MHzは、主に半導体製造装置で使用される範囲を意識しており、RFの常置監視モニタとして利用できます。また、電圧、電流、位相角をそれぞれ測定可能で、マッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。既存のセンサでは測定不可能だった非50Ωラインの測定を、是非VIPにてお試し下さい。

測定モード

トラッキングモード:数値データ、タイムプロット、ウェーブフォーム、スミスチャート

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