超高感度マクロ画像光学ユニット-Surface Eye-

超高感度マクロ画像光学ユニット-Surface Eye-

超高感度で透明体の表面凹凸、内部欠陥が引き起こす小さな表面うねり等の観察評価に最適な光学ユニットです。

高感度マクロ 表面欠陥観察

超高感度マクロ画像光学ユニット

更に高感度で、透明体の表面凹凸、内部欠陥が引き起こす小さな表面うねり等の観察評価に最適な光学ユニット

Surface-Eye 光学ユニット

視野幅が約18mmで画像合成により2~6インチの化合物ウェハ等の全体画像の取得にも対応

※視野幅18mmレベルの大視野において超極微細の垂直分解能があり、透明体の表面凹凸を容易に検査することが可能

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