3次元斜めCT機能(ユニハイトシステム社特許技術)

高速3次元斜めCT(Noix-Light)/3次元斜めCT(Noix)

3次元斜めCT(Noix)は、通常のCTでは断層撮影が不可能であったアスペクト比の大きいサンプルの断層撮影をするために、ユニハイトシステムと産業総合研究所が共同で開発した新しいCT技術です。
斜め方向からX線を透過し、高精度でステージを360度回転させながら、透過X線の画像を角度ごとに収集し、独自のアルゴリズムで計算させることによって、断層画像を得ることができます。
サンプルが電子ボードのような平たいものに対して有利な解析方法です。
独立行政法人産業技術総合研究所と共同特許取得(No.3694833)

大型基板でも破壊せずに、断層撮影が可能

ユーセントリック機能を利用し、斜め方向からX線を照射して、3次元断層撮影を行います。

斜め方向からX線を照射するため、アスペクト比のある大型基板のようなサンプルでも、360度方向同一条件での撮影が可能です。
また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大率での断層撮影が可能です。
特別な治具を使用せず、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影が可能なため、高い操作性を実現しています。
サンプルに対し垂直にX線を照射し、サンプルを360度回転させる方式のため、アスペクト比のあるサンプルの場合、断層データがノイズだらけになってしまいます。
また、X線焦点にサンプルの着目部位を近づけられないため、高拡大率を得ることができません。