SiC結晶転位高感度可視化装置 XS-1

SiC結晶転位高感度可視化装置 XS-1

パワーデバイス用の基板として注目されるSiCウェハなどの内部に存在する結晶欠陥由来の結晶内部歪みを、共同開発先であるビジョンサイテック社独自の光学理論と位相差演算処理により、わずかな位相差を捉えることで、高感度にリアルタイムで可視化する装置です。

5つの特長

  1. SiC以外の「透明」単結晶ウェハでも観察可能
    • 単結晶GaN、単結晶AIN、単結晶ダイヤモンド等
  2. 放射光X線トポグラフィに匹敵する結晶転位検出能力
  3. 卓上タイプでコンパクト
    • 実験室や製造ラインに容易に設置が可能
  4. 非破壊検査かつリアルタイム性
    • 迅速に結晶内部歪みの評価が可能
  5. X線やレーザ光源を用いていない
    • 各種届け出や有資格者が不要

基本仕様

対象ワーク
2、3、4、5、6インチウェハ、不定形小片
光源
空冷式UV-LED光源
光学倍率
5倍(視野約1.3x1.0㎜) ※変倍仕様にも対応可
分解能
約2μm
寸法
手動ステージ型:W325xD640xH394
手動ステージ型:W800xD580xH702
重量
手動ステージ型:35㎏
自動ステージ型:58㎏
ユーティリティ
電源 :単層AC100~220V(±10%以内)
圧空 :不要
冷却水:不要

事例