Planetary-MOCVD装置

Planetary-MOCVD装置

AIXTRON社の自公転式MOCVD装置は、高輝度LED、通信用半導体レーザ、高速電子デバイスなど化合物半導体製造用の薄膜成長装置です。
処理するサセプターとウェハが独立に回転するプラネタリーリアクター(自公転)方式の採用により、優れた成膜均一性を実現しています。
大容量処理能力を持つ量産機を揃えております。

Planetary Reactor MOCVD System ラインナップ

Planetary Reactor MOCVD System
  • GaN系
    • AIXG5H HT-TM:56 x 2"、14 x 4"、8 x 6"
    • AIXG5H+C cluster
  • GaAs/InP系
    • AIX2800G4-TM:60 x 2"、14 x 4"、8 x 6"、14 x 3"
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