発光ラインプロファイル分析用分光器 ELIASIII

発光ラインプロファイル分析用分光器 ELIASIII

Lasertechnik Berlin社(LTB社)のELIASIIIは、リットロー型エシェルモノクロメータデザインを採用したラインプロファイル分析用分光器です。
バックイルミネーションCCDカメラ(2048x512ピクセル、16ビットADコンバージョン)との組み合わせにより、近辺のスペクトルも同時に測定可能で、かつ33000:1の有効ダイナミックレンジを実現しています。
特に短波長化が進み、優れた装置関数が求められている半導体製造用露光機に使用されているエキシマレーザ仕様評価用に理想的な分光器です。

仕様

同時計測範囲
double/quadruple pass
16.4/8.2pm @ 193nm
22.5/11.3pm @ 248nm
ピクセルディスパージョン
double/quadruple pass
8.2/4.1fm @ 193nm
11.2/5.6fm @ 248nm
シグナル-ノイズ比 10000/40dB以上
相対ピクセルディスパージョンエラー 0.2fm @ 193nm double pass時(波長による)
システムファンクション(装置関数)
quadruple pass時
FWHM @ 193/248nm(5.5ピクセル)
E95 @ 193/248nm(44ピクセル)


22fm/32fm
180fm/250fm