第8世代ガラス基板用縦型ステージ

第8世代ガラス基板用縦型ステージ

LCD・PDP用第8世代ガラス基板対応の縦型ステージです。縦型レイアウトにより小占有面積化を実現。各種行程の光学式検査やリペア用ステージとして落射光や透過光を用いることが可能です。
また、走査ヘッドにレーザを搭載することでレーザ加工ステージとして利用できます。

第8世代ガラス基板用縦型ステージの仕様

 
X軸
Y軸
有効ストローク
2500mm
2500mm
駆動方式
リニアモータ
ACモータ
ガイド方式
LMガイド
LMガイド
最小駆動単位
100nm/パルス
100nm/パルス
最高速度
150mm/sec
150mm/sec