LIPAA加工装置

LIPAA加工装置

LIPAA加工装置は、汎用的なYAGレーザを用いてガラスや石英、その他透明材料の微細加工を行う新しい技術を用いたレーザ加工装置です。
LIPAA(レーザ生成プラズマ支援アブレーション)とは、YAG532nmパルスレーザをターゲット上へ集光させ、そのときに発生するプラズマと入射レーザとの相互作用により、レーザ光が透明材料へ吸収され材料が加工されるプロセスです。
(下図参照)

LIPAA(レーザ生成プラズマ支援アブレーション)とは?

主な応用

LIPAA加工装置 加工光学系
LIPAA加工装置 加工光学系
  • ガラス、石英、ポリマーの微細加工 (3 - 100µm)
  • ガラス、ポリマー上の金属配線
  • ガラス、ポリマー上の電気回路形成
  • マーキング
  • カラーマーキング
  • 基板スクライビング

主な仕様

LIPAA加工装置によるガラス基板上Cu配線
ガラス基板上Cu配線
(Cuメッキ処理、線幅20µm、間隔100µm)
  • レーザ: 5W@532nm
  • XYステージ: 200mmST
  • Zステージ: 10mmST
  • ガルバノスキャナー
  • ワーク観測システム