CCS-MOCVD装置

CCS-MOCVD装置

AIXTRON社のCCS-MOCVD装置は、高輝度LED、通信用半導体レーザ、高速電子デバイスなど化合物半導体製造用の薄膜成長装置です。
特許技術であるクローズ カップルド シャワーヘッド(Close Coupled Showerhead®:CCS)により、極めて高い膜均一性と優れたガス消費効率を実現しています。お客様のアプリケーションに合わせて最適なシステムを提案いたします。

Close Coupled Showerhead® MOCVD SYSTEM ラインナップ

  • CCS(FT):3 x 2"、1 x 3"、1 x 4"
  • CCS(FT):6 x 2"、3 x 3"、1 x 4"、1 x 6"
  • CRIUS II-eXL:75 x 2"、19 x 4"
  • AIX R6:121 x 2"、31 x 4"、12 x 6"
AIXTRON社 Planetary-MOCVD装置のラインナップはこちらから

お知らせ

アイクストロン・グループ会社であるThomas Swan Scientific Equipment Ltd.は、
2008年1月1日をもちましてAIXTRON Ltd.と社名を変更しました。
また、Epigress社製品は、AIXTRON社製品のラインナップとなりました。