エキシマレーザ加工装置 M-1T/M-3T/M-10T

エキシマレーザ加工装置 M-1T/M-3T/M-10T

M-1T/M-3T/M-10Tは、研究・生産用途に対応したエキシマレーザ加工装置です。加工対象物の条件により、波長・ホモジナイザー・対物レンズ、ステージストローク等装置構成をフレキシブルに対応します。
また、ビームプロファイラ、ワークアライメント、オートフォーカス、レンズ温度調整機構などの観測・制御システムも充実し、多様な精密加工が可能です。

主な仕様

波長
157nm、193nm、248nm、308nm、351nm
パルスエネルギー
30 - 670mJ
繰り返し周波数
100 - 300Hz
ワークステージ
XY軸 200 - 700mm
Z軸 5 - 20mm
θ軸 ±3 - 360°
ワークサイズ
100mm□ - 500mm□
M-3T照射位置決め精度
±3µm
M-3Tステージ分解能
40nm