ハイブリッドエキシマレーザ加工装置 M-ME1000

ハイブリッドエキシマレーザ加工装置 M-ME1000

M-ME1000は、研究開発向け多波長エキシマレーザ加工装置です。フッ素レーザ(波長157nm)とエキシマレーザ(波長193、248nm)を搭載しています。
各波長毎の照射加工の他、2波長同時照射による高効率加工が行えるとともに、スキャナー機能、オートアライメント機能と合わせて多様なレーザプロセス開発が可能です。

主な仕様

波長 157nm、193nm、248nm、351nm*1
パルスエネルギー 30mJ@157nm、700mJ@248nm
繰り返し周波数 200Hz
ワークステージ XY軸:300 - 1000mm、Z軸:5 - 20mm、θ軸:±5 - 360°
ワークサイズ 200mm
*1)351nmはオプション設定