エキシマレーザ加工/描画装置 OPTEL PRO

エキシマレーザ加工/描画装置 OPTEL PRO

OPTEL PROは、小型エキシマレーザを搭載したコンパクト設計のレーザ加工装置です。レーザ架台・ガスキャビネット(ガス検知警報機・緊急遮断弁付)を一体化、小スペースでのエキシマレーザ加工実験ができます。
また、照射位置記憶用ライン発生器、レーザ・ステージ同期運転ソフト、加工部リアルタイムモニターを標準装備します。

主な仕様

波長 193nm、248nm、308nm、351nm
加工スポット 10 - 300µm
パルスエネルギー 8 - 17mJ(248nm発振時)
エネルギー密度 0 - 15J/cm2
繰り返し周波数 500Hz
ワークステージ XY軸:100mm、Z軸:5mm、θ軸:±3°
ワークサイズ 100mm
資料提供:関西大学・工学部 青柳研究室
資料提供:関西大学・工学部 青柳研究室