超精密サーフェイステージシステム

超精密サーフェイステージシステム

XYZ全軸エアースライドによる超精密ステージシステムです。ナノオーダーの位置決めが要求される微細加工や各種検査ステージとして開発しました。
駆動方法にリニアモータを使用しており発塵、経年変化が少なく高精度駆動が長期にわたり保持できます。

超精密サーフェイステージシステムの仕様

 
X軸
Y軸
Z軸
有効ストローク
100mm
100mm
10mm
駆動方式
リニアモータ
リニアモータ
リニアモータ
ガイド方式
エアスライド
エアスライド
エアスライド
最小駆動単位
10nm/パルス
10nm/パルス
10nm/パルス
最高速度
10mm/sec
10mm/sec
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