薄膜装置・ナノテクノロジー

MOCVDのトップメーカーである独国AIXTRON社の製品を提供しています。
高輝度LEDや通信用半導体レーザなど、化合物半導体製造におけるR&Dから大量生産まで、幅広いニーズに最適なMOCVD装置です。

東芝機械株式会社の微細転写装置（ナノインプリント装置）を提供しています。同社の装置は、コストパフォーマンスに優れ、従来の露光装置によるリソグラフィに比べ、低コストで高速かつ大量に微細加工することが可能です。

樹脂、金属、ガラス、フイルム等、2つの異なる材質の接着やコーティングにお悩みの市場へ、低コストで高密度な表面処理ソリューションをご提案します。

AIXTRON社のSiCの薄膜成長装置やLaytec社のin-situモニタリングシステムなど、MOCVD以外の薄膜装置やモニタリングシステムです。