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MOCVD装置
MOCVDのトップメーカーである独国AIXTRON社の製品を提供しています。
高輝度LEDや通信用半導体レーザなど、化合物半導体製造におけるR&Dから大量生産まで、幅広いニーズに最適なMOCVD装置です。
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自公転式MOCVD装置
アイクストロン
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CCS-MOCVD装置
アイクストロン
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