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MOCVD装置
CCS-MOCVD装置
AIXTRON社のCCS-MOCVD装置は、高輝度LED、通信用半導体レーザ、高速電子デバイスなど化合物半導体製造用の薄膜成長装置です。
特許技術であるクローズ カップルド シャワーヘッド（Close Coupled Showerhead®：CCS）により、極めて高い膜均一性と優れたガス消費効率を実現しています。お客様のアプリケーションに合わせて最適なシステムを提案いたします。
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Close Coupled Showerhead® MOCVD SYSTEM ラインナップ
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CCS(FT)：3 x 2"、1 x 3"、1 x 4"
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CCS(FT)：6 x 2"、3 x 3"、1 x 4"、1 x 6"
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CCS(FT)：19 x 2"、7 x 3"、4 x 4"、1 x 6"
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CRIUS：31 x 2"、12 x 3"、7 x 4"、3 x 6"、1 x 12"
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| AIXTRON社 自公転式MOCVD装置のラインナップはこちらから |
MOCVD装置用のコンポーネントとして、インライン・ガス濃度分析計を取り扱っております。同システムをMOCVD装置に組み込むことで、成膜品質、歩留まりが大幅に向上します。
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アイクストロン・グループ会社であるThomas Swan Scientific Equipment Ltd.は、
2008年1月1日をもちましてAIXTRON Ltd.と社名を変更しました。
また、Epigress社製品は、"Hot Wall SiC CVD"としてAIXTRON社製品のラインナップとなりました。 |
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