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その他の薄膜装置
AIXTRON社のSiCの薄膜成長装置やLaytec社のin-situモニタリングシステムなど、MOCVD以外の薄膜装置やモニタリングシステムです。
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SiC-CVD装置 (シリコンカーバイト用成膜装置)
アイクストロン
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インライン・ガス濃度分析計 Epison 4
アイクストロン
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その場（in-situ）モニタリングシステム
レイテック
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