形状計測センサ

形状計測センサ

非接触でウェハ、樹脂、支持基板およびSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みや形状や反りを高速で高精度に測定します。
測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高いサンプリングレートを活かしたマッピング機能で2次元・3次元データを表示することでウェハ全体の状態把握を簡易的に把握することが可能です。

用途に合わせて、マニュアル機から完全自動機まで提案いたします。

CLS(Chromatic Line Sensor)

CHRocodile CLSは、色収差共焦点技術により、高速に面の形状を測定します。
 ・192個のポイント個所による超高速測定
 ・最大出力:6000Hz
 ・最小スポットサイズ:2μm
 ・最大分解能:20nm
 ・最大ライン幅:5mm

測定例

CLS ラインセンサは、工業製造において 3D インライン検査に最適なツールです。ラインに沿って精密な距離と膜厚データを提供します。共焦点測定により、横および軸方向の高分解能データを算出し、各種材料の測定を可能にします。また、複雑な形状であっても影による影響なく測定します。アプリケーションは、ディスプレイ測定や半導体チップのトポグラフィーの判別などがあります。

新製品 CVC(Chromatic Vision Camera)

CHRocodile CVCは、色収差共焦点技術により、顕微鏡カメラよりも大幅に高い被写界深度と横方向解像度の両方を実現します。

  • ラインスキャンカメラに色収差光学素子を使用
  • 顕微鏡カメラよりも大幅に高い被写界深度と横方向解像度
  • 被写界深度:最大3mm
  • 横方向解像度:最大0.6μm
  • CHRocodile2Sセンサと組み合わせることで、3D計測も可能(1ラインのプロファイル出力)

観察例

CHRocodile CVCは、色収差共焦点技術により、顕微鏡カメラよりも大幅に高い被写界深度と横方向解像度の両方を実現します。

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