表面欠陥検査

表面欠陥検査

ガラス、化合物、シリコン等ウェハー加工時における、表面状態把握、異常解析が可能です。広大なエリアにおいてサブミクロン以下の欠陥を可視化させるマクロ検査ユニットから、非破壊でナノ領域の表面解析が可能なミクロ検査ユニットまで、提案が可能です。

状態把握(画像化)

ウェハクラック検出システムMHS-300 −シュリーレン画像外観検査装置−

顕微鏡検査で判定困難なウェハ表面/裏面のマイクロクラック等を広い視野にて瞬時に検出し、NG品の流出を防止します。
また、ロット検査データを統計処理しウェハ割れの早期原因究明にも効果的です。
高精細3CCDカメラとシュリーレン光学系により、クラック・傷・異物の識別判定が可能です。

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超高感度マクロ画像光学ユニット-Surface Eye-

超高感度で透明体の表面凹凸、内部欠陥が引き起こす小さな表面うねり等の観察評価に最適な光学ユニットです。

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SiC結晶転位高感度可視化装置 XS-1

パワーデバイス用の基板として注目されるSiCウェハなどの内部に存在する結晶欠陥由来の結晶内部歪みを、独自の光学理論と位相差演算処理により、わずかな位相差を捉えることで、高感度にリアルタイムで可視化する装置です。

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異常解析(計測)

形状計測センサ

非接触でウェハ、樹脂、支持基板及びSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みや形状や反りを高速で高精度に測定します。 測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高いサンプリングレートを活かしたマッピング機能で2次元・3次元データを表示する事でウェハ全体の状態把握を簡易的に把握することが可能です。

用途に合わせて、マニュアル機から完全自動機まで提案いたします。

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