超高密度大気圧プラズマ発生装置 Tough Plasma FPB20

超高密度大気圧プラズマ発生装置 Tough Plasma FPB20

超高密度大気圧プラズマ発生装置です。非常に低温の処理が可能なため、薄い樹脂フィルムや材料の処理に最適な装置です。熱ダメージに弱い薄い樹脂材を使うカテーテルや眼内レンズ挿入機等の医療用途や電気ダメージを気にする半導体用途等でご利用いただいております。

Tough Plasma FPB20の特長

熱ダメージおよび電気ダメージを極力抑え装置サイズもコンパクトにしたローコストモデルです。

1) 低温処理

Tough Plasmaの中で最も照射ガス温度が低く、熱に対して敏感なフィルム材等の薄い材料への照射も容易です。
この特長のため、カテーテルや眼内レンズ挿入機等の医療機器の製造工程に多くの実績があります。
※本製品は医療製品ではなくあくまでも医療製品の製造工程で利用されます。

2) 電気的中性

電気的に中性なラジカル粒子のみを照射するため、ワークに電気的なダメージを与えません。
電気ダメージを気にする半導体用途としてもご利用いただけます。