BIRD Electronic|高精度パルスパワーセンサ シリーズ

BIRD Electronic|高精度パルスパワーセンサ シリーズ

半導体市場においては、ウエハの大口径化が停滞している中、縦に積層していく技術が重要視されており、パルス出力機能付きのRF電源を搭載したエッチング装置の需要が拡大しています。こちらのページでは従来の高精度CW測定に加え、パルス・ON時の電力測定を可能にバード社が開発したパルスパワーセンサをご紹介いたします。4421/4027Aシリーズの次世代製品としてRF電源の検査にご活用ください。

パルスセンサ ラインナップ

BIRD社のパルスパワーセンサはお客様のパルス測定のご要望に応じて柔軟な提案が可能です。シングルパルスやマルチパルス(最大4レベルまで)、さらには従来の1%精度品に加え、0.5%の超精度品:7037 の超高精度対応品もリリースしております。

●製品仕様

  • 7023・25 : シングルパルス 校正周波数において精度1%@1700W(other 2%)
  • 7027・29 : マルチパルス(最大4段階)精度1%@校正周波数における全パワーレンジ
    (7029の13.56MHzは例外として精度1%@300W~30kW)※その他領域 : 2%
  • 7037 : マルチパルス(最大4段階)精度0.5%@校正周波数における全パワーレンジ
    ※その他領域 : 1.5%
    ※上記に無い周波数帯、パワーレンジの製品につきましてもご提案可能な場合がございます。お気軽にお問い合わせください。
    ※型番やコネクタの選定等、仕様詳細に関しては別途お問い合わせください。

●7023シリーズ(シングルパルス対応)

周波数範囲 パワーレンジ
350kHz±30kHz 5W~10kW
400kHz±4kHz 50W~20kW
3.2MHz±0.2MHz 90W~12kW(CW) *パルス平均 20kW Max
13.56MHz±100kHz 48W~10kW(CW) *パルス平均 15kW Max
100MHz±100kHz 45W~5.5kW *パルス平均 7kW Max

●7025シリーズ(シングルパルス高出力対応)
周波数範囲 パワーレンジ
400kHz±24kHz 200W~40kW
13.56MHz±100kHz 30W~30kW

●7037シリーズ(超高精度0.5%センサ)
周波数範囲 パワーレンジ
400kHz±10% 25W~25kW
2MHz±10% 10W~10kW
13.56MHz±5% 100W~10kW
27.12MHz±5% 90W~9kW
40.68MHz±5% 75W~7.5kW
60MHz±5% 60W~6kW

●7027シリーズ(マルチパルス対応)
周波数範囲 パワーレンジ
400kHz±10% 25W~25kW
2MHz±10% 10W~10kW
13.56MHz_1(±5%) 1W~1kW
13.56MHz_2(±5%) 10W~10kW
27.12MHz±5% 10W~3kW
40.68MHz±5% 75W~7.5kW
60MHz±5% 30W~6kW

●7029シリーズ(マルチパルス高出力対応)
周波数範囲 パワーレンジ
400kHz±10% 200W~40kW
3.2MHz±10%(±5%) 40W~40kW
13.56MHz_1±10%(±5%) 15W~15kW
13.56MHz_2(±5%) 30W~30kW *(300W~30kW : 精度1%)
40.68MHz±5% 10W~10kW
60MHz±5% 100W~20kW
100MHz±5% 45W~5.5kW

測定モード

パルスセンサシリーズには主に大きく分けて以下測定モードが存在します。
1.進行波/反射波、VSWRの測定値をデジタル表示を行うAverage power (平均電力)測定モード
2.タイムドメインモード(マルチパルス対応機種専用の機能)
※タイムドメインモードはパルス波形をグラフ表示にてモニタする機能となります。

測定可能パラメータ

全製品(7023/25/27/29/37)共通

  • 進行波/反射波測定(CW・平均電力測定)
  • VSWR測定
  • パルス平均電力測定(State(Gated) average power)
    • マルチパルス対応機種は最大4段階パルスまで対応
  • PCソフト(VPM-3)にて測定値を表示
    • csvファイルにてログデータ抽出及び、保存した測定データのプレイバックも可能

測定画面

マルチパルス対応機種(7027/29/37)専用機能

  • タイムドメインモード
    最大4段階パルスまで対応の波形モニタモードです。
    (横軸時間 : μsec~・縦軸電力 : W)
    マーカを設置し、各レベル毎のパルス平均電力やオーバーシュート箇所の分析も可能です。
    高精度パワー測定という従来のソリューションに加え、In-Situのモニタとして、プロセス中のパルス状態監視、異常検知用途としても活用可能です。
    *マッチングボックスーRF電源の間(50Ωライン)での測定。
    マッチングボックスーチャンバ間のモニタはBDS-2をご活用ください。

タイムドメインモード

State(Gated)average power 測定イメージ

シングルパルス測定イメージ図

State(Gated) average power測定では、パルスの立ち上がり・立下がりのタイミングを検知し、パルスON中の平均電力を測定します。
ユーザ側のパルス出力条件に合わせて、立ち上がり・立下り時間及び、測定インターバルの調整が可能です。
(左記イメージ図)

マルチパルス測定イメージ図

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