日本エフイー・アイ|フルデジタル透過電子顕微鏡 | Talos S/TEM

日本エフイー・アイ|フルデジタル透過電子顕微鏡 | Talos S/TEM

Talosは、走査・透過型電子顕微鏡(S/TEM)であり、多次元に渡るナノ材料において、高スループット、多目的、多次元の解析に最適な最高加速電圧200kVのS/TEMシステムです。

Talos S/TEMの特長

  • 最大4つのSTEM検出器より、高スループット・高コントラストの高品質なデータ取得が可能となります。
  • 高速TEM観察の機能により、高分解能観察だけではなく、その場の動的実験の観察も実現します。
  • Ceta16M CMOSカメラによって高速TEM画像取得と広視野での観察を実現します。
  • Super-X EDSシステムは、4つの検出器より、あらゆる傾斜角度での高カウントレートを実現します。

観察事例

大領域の加工例

Talos F200Xで取得したADF-STEM像とSuper-XによるEDS元素マップ。
EDSマップはイメージサイズ512 x 512ピクセル、Dwell time 20 μ秒、総取得時間5分。