日本エフイー・アイ|Emission・OBIRCH複合装置 | Meridhian

日本エフイー・アイ|Emission・OBIRCH複合装置 | Meridhian

Emission、OBIRCH、レーザプロービングによる動的解析まで、解析ニーズを幅広くカバーできる装置です。

Meridianの特長

  • InGaAsを超える超高感度カメラDBXを搭載しております。
  • プロセスの微細化に伴う、マージナルな不良要因絞り込む事が可能です。
  • パッケージからウェーハレベルに対応した製品群があり、不良解析のみならず歩留まり解析への適用も可能です。

観察イメージ図

サーマルエミッション画像