【前工程プロセスエンジニア必見】±0.5%超高精度RFパワー測定ソリューション

【前工程プロセスエンジニア必見】±0.5%超高精度RFパワー測定ソリューション

本ページではRF電源校正用高精度RFパワー測定の紹介しております。
RF測定機器メーカのBIRD社は半導体製造装置(ドライエッチング・プラズマCVD他)に使用されるRF電源の校正に最適な高精度RFパワーセンサを提供しております。

BIRD社 半導体市場向け社高精度RF測定ソリューションのご紹介

【精度±0.5%】超高精度RFパワーセンサ
【チャンバ内の実効電力モニタ】非50Ωライン測定ソリューション

【精度±0.5%】超高精度RFパワーセンサ

±0.5%の超高精度パワーセンサ7037は、BIRD社が独自のカロリーメータ技術の発展により開発した、従来のRFパワー測定を一新する新世代パワーセンサです。製品紹介ページでは、測定精度などの基本情報に加え、マルチレベルパルスやパルス波形のリアルタイム解析など、最新の半導体プロセスのレシピに役立つ機能を紹介します。また、業界標準の4027シリーズセンサと比較しての機能強化についてもご紹介します。

超高精度パワーセンサ画像&測定画面キャプチャ

【チャンバ内の実効電力モニタ】非50Ωライン測定ソリューション

BIRD社の提供する非50Ωライン測定ソリューション、BDS2はチャンバ内の実効電力モニタに最適です。RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。
※なお、添付資料は既存のツール(Applied materials社 Producer CVD System)の機能を拡張し、歩留まりの損失を最小限に抑えるソリューションとして開発されたセンサヘッドモデルとなります。

BDS2画像&運用例

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