重ね合わせ検査装置(オーバーレイ検査装置)

重ね合わせ検査装置(オーバーレイ検査装置)

本ページでは、Onto Innovation社のオーバーレイ検査装置についてご紹介します。オーバーレイ検査とは、露光後のマークの位置ズレを自動検査することを指します。

オーバーレイ検査装置 IVSシリーズ

オーバーレイ検査装置 IVS220システムは、IVSシリーズの最新機種であり、200mmウェハでの高精度、TIS、高スループットを実現するよう設計されています。

IVSシリーズ|主な特長

  • MTBF(平均故障間隔) 2100時間
  • 各種バリエーションのウェハに対応(サイズ、厚み、材料等)
  • MEMSアプリケーション向けの特定のアルゴリズムに対応可能

代表的なアプリケーション例

  • 半導体
  • 化合物半導体(SiC、GaAs、GaN、LiNO3、InP、石英、ガラス、サファイアなど)
  • パワーデバイス
  • RF
  • MEMS
  • LED