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取扱メーカー
アイクストロン
AIXTRON AG
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独国のAIXTRON AG（アイクストロン社）は、CVD装置の世界のリーディングカンパニーで、GaN系、InGaAsP系の有機金属を材料として薄膜を成長させる化合物半導体用のMOCVD装置に特化しています。
Planetar- MOCVD装置は、処理するサセプターとウェーハが独自に回転する自公転式方式を採用しています。CCS-MOCVD装置は、特許取得のガス均一化技術により、GaN系の薄膜形状装置としては他の技術を用いた装置よりもプロセス条件を広く取ることができ、材料の使用効率が高いことが特長です。
丸文株式会社はAIXTRON AGの日本国内における総代理店です。
アイクストロン・グループ会社であるThomas Swan Scientific Equipment Ltd.は、2008年1月1日をもちましてAIXTRON Ltd.と社名を変更しました。
アイクストロン・グループ会社であるEpigress ABは2008年7月をもちましてAIXTRON AB.と社名を変更しました。
※MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition） |
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