形状計測センサー
非接触でウェハ、樹脂、支持基板およびSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みや形状や反りを高速で高精度に測定します。 測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高いサンプリングレートを活かしたマッピング機能で2次元・3次元データを表示するこ...
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非接触でウェハ、樹脂、支持基板およびSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みや形状や反りを高速で高精度に測定します。 測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高いサンプリングレートを活かしたマッピング機能で2次元・3次元データを表示するこ...
弊社デモルームには表面観察、厚み計測が可能な各種ユニットを常備設置しており、お客様の要求に合わせた各種実験が可能です。専門スタッフがおりますので何かお困りのことがございましたらいつでもご連絡下さい。
非接触でウェハ、樹脂、支持基板およびSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みを高速で高精度に測定します。 測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高いサンプリングレートを活かしたマッピング機能で2次元・3次元データを表示することでウェハ全...