ギ酸還元真空リフローシステム

ギ酸還元真空リフローシステム

本システムは熱風対流式リフロー炉にギ酸還元機能と真空モジュールを付加したリフローシステムです。
加熱気化されたギ酸を対流させ、昇温しながら酸化膜を還元し、ピーク温度で真空チャンバに投入することでボイドレスのはんだ接合を実現します。
対流式の加熱方式を採用しているため、放熱フィンがついたヒートシンクに対しても均一な温度分布を保つことが可能です。

ギ酸還元リフロー工法の特長

  • 熱風対流式リフローにギ酸還元機能及び真空引き機能を付加することによりボイドレスのハンダ接合を実現
    • 車載品質(はんだボイド率1%以下)対応
  • 熱風対流加熱方式により対象ワーク内の温度分布の均一性を実現
    • 放熱フィン/ピン付きのヒートシンクに対しても均一な加熱・昇温が可能
  • ギ酸還元によるとフラックスレスの実現
    • ペースト/シートいずれのハンダにも対応可
  • ギ酸無害化装置を搭載
    • グリーンプロセスソリューション
    • リアルタイムギ酸濃度監視システム搭載

ボイド除去工程

  • 真空引き機能によりハンダ接合部内のボイドを99%削減することが可能です。

熱風対流式真空リフロー

  • インライン式リフロー内部に直接組み込める真空チャンバを開発
    • 真空モジュールをリフローピーク温度(ハンダ溶融時)のゾーンに組込まれております。
  • 対象ワークのサイズや熱容量に合わせて最適なゾーン数を御提案
    • 10ゾーンから16ゾーンまでをラインナップしております。

真空チャンバ

  • 真空チャンバとコンベア構造
    • 真空チャンバにワークを投入後、真空引き開始~本加熱終了後、大気解放~排出
  • チェーンベルト、エッジホールドの2タイプに対応
    • マウンタ工程にて使用したキャリアをそのまま投入可能です。

ギ酸還元システム

  • ギ酸雰囲気中にて任意の温度プロファイル(テント型・ソーク型)の設定が可能
    • 熱リフロープロファイルに加えて、ギ酸のプロファイル設定も可能です。

ギ酸無害化処理システム

  • リフローシステムの入口と出口に触媒バーンボックスを搭載
    • リフロー工程で生成された未使用のギ酸、水素、一酸化炭素を除去します。
    • ドライタイプの無害化処理装置により炉内ガスを処理して大気排出します。

製品ラインナップ

  • 対象ワークのサイズや熱容量により最適なシステムをご提案します。

Model 全長 加熱ゾーン 冷却ゾーン チャンバ内寸
1800 series 1826MK5-VR 4.85m 8 2
※下部冷却機構はオプション
400mm□
1809MK5-VR 9
1900 series 1936MK5-VR 5.89m 10 3
※下部冷却機構はオプション
400mm□
1913MK5-VR 13
2000 series 2043MK5-VR 6.78m 13 3
※下部冷却機構はオプション
450mm□