BIRD Electronic｜高精度パルスパワーセンサーシリーズ

半導体市場においては、ウエハの大口径化が停滞している中、縦に積層していく技術が重要視されており、パルス出力機能付きのRF電源を搭載したエッチング装置の需要が拡大しています。こちらのページでは従来の高精度CW測定に加え、パルス・ON時の電力測定を可能にバード社が開発したパルスパワーセンサーをご紹介いたします。4421/4027Aシリーズの次世代製品としてRF電源の検査にご活用ください。

資料請求

デモ希望

商品基礎情報

パルスセンサーラインナップ

BIRD社のパルスパワーセンサーはお客様のパルス測定のご要望に応じて柔軟な提案が可能です。シングルパルスやマルチパルス（最大4レベルまで）、さらには従来の1％精度品に加え、0.5％の超精度品：7037 の超高精度対応品もリリースしております。

●製品仕様

7023・25 ：シングルパルス　校正周波数において精度1%@1700W（other 2%）
7027・29 ：マルチパルス（最大4段階）精度1%@校正周波数における全パワーレンジ
（7029の13.56MHzは例外として精度1%@300W～30kW）※その他領域 : 2%
7037 : マルチパルス（最大4段階）精度0.5%@校正周波数における全パワーレンジ
※その他領域 : 1.5%
※上記に無い周波数帯、パワーレンジの製品につきましてもご提案可能な場合がございます。お気軽にお問い合わせください。
※型番やコネクターの選定等、仕様詳細に関しては別途お問い合わせください。

●7023シリーズ（シングルパルス対応）

周波数範囲	パワーレンジ
350kHz±30kHz	5W～10kW
400kHz±4kHz	50W～20kW
3.2MHz±0.2MHz	90W～12kW（CW）　＊パルス平均 20kW Max
13.56MHz±100kHz	48W～10kW（CW）　＊パルス平均 15kW Max
100MHz±100kHz	45W～5.5kW　＊パルス平均 7kW Max

●7025シリーズ（シングルパルス高出力対応）

周波数範囲	パワーレンジ
400kHz±24kHz	200W～40kW
13.56MHz±100kHz	30W～30kW

●7037シリーズ（超高精度0.5%センサー）

周波数範囲	パワーレンジ
400kHz±10%	25W～25kW
2MHz±10%	10W～10kW
13.56MHz±5%	100W～10kW
27.12MHz±5%	90W～9kW
40.68MHz±5%	75W～7.5kW
60MHz±5%	60W～6kW

●7027シリーズ（マルチパルス対応）

周波数範囲	パワーレンジ
400kHz±10%	25W～25kW
2MHz±10%	10W～10kW
13.56MHz_1(±5%)	1W～1kW
13.56MHz_2(±5%)	10W～10kW
27.12MHz±5%	10W～3kW
40.68MHz±5%	75W～7.5kW
60MHz±5%	30W～6kW

●7029シリーズ（マルチパルス高出力対応）

周波数範囲	パワーレンジ
400kHz±10%	200W～40kW
3.2MHz±10%(±5%)	40W～40kW
13.56MHz_1±10%(±5%)	15W～15kW
13.56MHz_2(±5%)	30W～30kW　＊（300W～30kW : 精度1%）
40.68MHz±5%	10W～10kW
60MHz±5%	100W～20kW
100MHz±5%	45W～5.5kW

測定モード

パルスセンサーシリーズには主に大きく分けて以下測定モードが存在します。
1．進行波/反射波、VSWRの測定値をデジタル表示を行うAverage power (平均電力）測定モード
2．タイムドメインモード（マルチパルス対応機種専用の機能）
※タイムドメインモードはパルス波形をグラフ表示にてモニターする機能となります。

測定可能パラメーター

全製品(7023/25/27/29/37)共通

進行波/反射波測定（CW・平均電力測定）
VSWR測定
パルス平均電力測定（State（Gated） average power）
- マルチパルス対応機種は最大4段階パルスまで対応
PCソフト（VPM-3）にて測定値を表示
- csvファイルにてログデータ抽出及び、保存した測定データのプレイバックも可能

測定画面

マルチパルス対応機種（7027/29/37）専用機能

タイムドメインモード
最大4段階パルスまで対応の波形モニターモードです。
（横軸時間： μsec～・縦軸電力： W）
マーカーを設置し、各レベル毎のパルス平均電力やオーバーシュート箇所の分析も可能です。
高精度パワー測定という従来のソリューションに加え、In-Situのモニターとして、プロセス中のパルス状態監視、異常検知用途としても活用可能です。
＊マッチングボックスーRF電源の間（50Ωライン）での測定。
マッチングボックスーチャンバ間のモニターはBDS-2をご活用ください。

タイムドメインモード