インフォメーション SEMICON JAPAN2021出展のお知らせ
12/15-17開催
丸文株式会社は12月15日(水)から17日(金)まで行われる「SEMICON JAPAN2021」に出展いたします。
当社、丸文のブースではドライエッチングやプラズマCVDといった装置に使用する高周波関連の測定機材（BIRD社他）や、AIを活用した異常検知・予知保全システムを提案いたします。
展示内容
次世代RF測定とAIを活用した異常検知・予知保全システム
【対象者】ドライエッチングやプラズマCVDといった装置の保全や、歩留まり改善に課題をお持ちの方へ。
【展示品】
・【精度±0.5%】超高精度RFパワーセンサ（下図）
・【チャンバ内の実効電力モニタ】非50Ωライン測定ソリューション
・【RF電源の異常検知】IQデータ解析ソリューション
・【AIを活用した異常検知・予知保全システム】製造業に特化した直感GUIかんたんAI開発ツール
デバイス設計評価、完成品検査など様々な場面で活用できる多機能測定器
【展示品】
・ポータブル多機能測定器 / Liquid Instruments社
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・ハンディアナライザ / BIRD社
・ベンチトップ型VNA / Transcom社
SEMICON JAPAN2021 概要
10:00〜17：00
会場案内図