水晶加速度センサーの特長と製品ラインナップ｜セイコーエプソン株式会社
3軸加速度センサーは加速度の測定を目的とした慣性センサーの1つであり、3次元の慣性運動（直行3軸方向の並進運動）を検出する装置です。 セイコーエプソン独自の微細加工技術を用い低ノイズ・高分解能・高安定度の特徴をもつ高性能水晶センサー素子を使用した高精度な慣性計測装置です。
商品基礎情報
セイコーエプソンの水晶加速度センサーの利点
- 低ノイズ・高分解能・デジタル出力
0.06uG/LSBの王分解能な3軸加速度データをデジタルで出力します。微小変位角・長周期振動・変位量を求めることが可能となり、構造ヘルスモニタリング・地震・環境振動計測等の高精度なデータを必要とするアプリに最適なデバイスです。
- 高安定性能
高安定な水晶材料に微細加工技術を用いて開発した水晶加速度素子を搭載し、加速度/傾斜角の高安定な計測が可能です。わずかな変化をとらえる必要のある大型構造物の劣化・損傷などの解析・診断などに最適なセンサーです。
セイコーエプソン 水晶加速度センサーの特長
水晶微細加工技術を用いた周波数変化型加速度センサー素子を使用する事により高感度、低ノイズ・高分解能、高安定性を実現しています。また独自の設計・製造技術により、高感度と堅牢性を高い次元で両立したセンサーです。
ノイズに強いダイレクト・デジタル変換
センシング量をダイレクトにデジタル変換するため、外部ノイズに強く、高価なアナログ変換装置が不要です。このため高精度なデータをそのまま処理可能です。
低ノイズ・高分解能
水晶微細加工技術を用いた周波数変化型加速度センサー素子とセンシング量をダイレクトにデジタル変換する事によりこれまでに製品に比べ全帯域で大幅なノイズ密度低減を実現しました。
微小変位角・長周期振動・変位量を求めることが可能なため地震・環境振動計測・構造ヘルスモニタリングなどの高精度なデータを必要とするアプリに最適なセンサーです。
高精度と耐久性を両立
M-A352は、同時の水晶センサー素子とデジタル処理技術により、高精度と耐久性を高い次元で両立しました。金属ケースによりシールド性、堅牢性、取り付け精度が向上しました。また、IMU M-G3Xシリーズとプラットフォームを共通化しておりますので用途に応じて載せ替えが可能です。
放水型ユニット（CAN/RS422インターフェイス）
M-A552は、M-A352を内蔵しIP67相当の防水・防塵性を備えた加速度センサーです。屋外設置などの厳しい環境での使用に適しています。
加速度センサーのノイズ特性比較
Si-MEMS技術を採用した加速度センサーに比べEPSONの加速度センサーはノイズ成分が非常に少なく、本来検出したい加速度を出力することが可能です。
水晶加速度センサーラインナップ
| 性能・機能/機種名 | M-A352AD10 | M-A552AC1 | M-A552AR1 |
| 製品詳細(データシート) | データシート | データシート | データシート |
| インターフェイス | UART/SPI | CANopen | RS422 |
| ノイズ密度（uG/√Hz） | 0.2（Average） | 0.2（Average） | |
| 検出範囲（G） | ±15 | ±15 | |
| 軸数 | 3軸（X/Y/Z） | 3軸（X/Y/Z） | |
| 帯域（Hz） | 400 | 460 | |
| 出力レート（Sps） | 1000 | 1000 | |
| 分解能（uG/LSB） | 0.06 | 0.06 | |
| 動作温度範囲（℃） | -30〜+85 | -30〜+70 | |
| 消費電流（mA TYP） | 13.2 | 35＠12V | 49＠12V |
| 電源電圧（V） | 3.3 | 9〜32 | |
| サイズ（mm） | 48 x 24 x 16 | 65 x 60 x 30 | |
| 重量（g） | 25 | 128 | |
| 主な機能 | 同期計測用 低ジッター 外部トリガーなど |
IP67対応 （防水・防塵） |
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| 特長 | 独自の高安定水晶センサー素子と、デジタル処理技術により、高価なサーボ式センサーと同レベルの精度と、フィールドでの耐久性を両立した3 軸加速度センサーです。 加速度を水晶センサー素子の周波数変化として検出し、加速度、若しくは傾斜角へデジタル変換し出力します。このため従来のアナログ出力のセンサーとは異なり、アンプ、フィルター、A/D コンバーターなどが不要です。 |
防水、防塵型の高精度3 軸加速度センサーです。 CAN 又はRS422 インターフェイスを採用し長距離、高安定性、高信頼性が要求される産業用途に最適な製品となっています。CAN インターフェイスでは、複数の加速度センサーを同期した多ノード計測システムの構築が可能です。 |
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| 製品外観 |  |
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代表アプリケーション例
- ビルモニタリング
（地震・長周期振動・ビル固有周期・微小変位・傾斜計測）
- 橋梁の交通量・地震の常時モニタリング
