高精度シリコン振動式圧力センサ RPS/DPS 8000 Series, RPS/DPS 8100 Series

高精度シリコン振動式圧力センサ RPS/DPS 8000 Series, RPS/DPS 8100 Series

RPS/DPS 8000はTERPS (TrenchEtched Resonant Pressure Sensor) 技術を採用したシリコン振動式の圧力センサです。従来のシリコン・ピエゾ抵抗式圧力センサに比べ、およそ10倍の精度・安定性を持っており、高精度かつ優れた長期安定性が要求される計測分野に向いています。

主な製品仕様

圧力レンジ3.5〜200kPa abs(最少)… 3.5kPa〜7MPa abs(最大)、
750〜1150hPa abs(大気圧)
出力RPS 8000/8100:TTL周波数&ダイオード順方向電圧
DPS 8000/8100:RS485または、RS232
精度(温度特性を含む)±0.02%FS(標準仕様)
±0.01%FS(精度向上仕様)
補償温度範囲-10〜+50℃(一般温度補償)
-40〜+85℃(広温度範囲補償)
使用温度範囲補償温度範囲内
圧力媒体RPS/DPS 8000:SSUS316L, Hastelloy C276に適合する媒体
RPS/DPS 8100:Si, SiO2, RTV接着剤, SUS316Lに適合するドライ・ガス