高分解能ナノフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160αII

高分解能ナノフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160αII

4Mピクセルカメラ、高精細トップテーブルを標準搭載し、さらに新機能搭載させ、より安定した高分解能CT撮影を可能にした最上位モデルのナノフォーカスX線CTシステムです。

<新機能>
  • 自動ワーク高さ検知機能
  • 自動光軸・回転中心調整機能
  • 自動フォーカス調整機能

<標準仕様>
  • 高分解能(焦点寸法切り替え機能(250nm/800nm))
  • 高倍率(1,600倍)
  • ユーセントリック機能
  • 露光時間可変機能
  • Xanalizer搭載
  • 4Mピクセルカメラ
  • 高精細トップテーブル

<オプション機能>
  • 3次元斜めCT機能(Noix-Light/ Noix)
  • 直交CT機能(Presto シリーズ)
  • 低エネルギー高コントラスト発生器(130kv仕様)
  • 可視光マッピング機能

高倍率でも鮮明な焦点寸法0.25µmのサブミクロンフォーカス

高倍率拡大時の画像の鮮明さを左右する、X線発生装置の焦点寸法は標準モードで0.8µm、高精細モードでは0.25µm。微小バンプの接合部や微細VIA等の解析に威力を発揮します。

XVA Series 撮影事例

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