複合機のご提案

複合機のご提案

シュリーレン光学ユニットと厚み計測ユニットを連動させ、XYステージを組み合わせることで2次元観察から3次元計測を実現。

シュリーレン光学ユニットと厚み計測光学ユニットを組み合わせる事で2Dから3D計測に対応

複合機の実例

化合物複合ウェハ解析システム −Delta Focus−

従来個別の画像観察装置では出来なかった観察ワーク全体の状態把握を様々な観察手法で行います。Siウェハはもとより、化合物半導体材料や透明体(ガラス、サファイアなど)に対応可能です。

特長

超大視野でありながら極めて高感度に表面凹凸形状を画像化することが可能なシュリーレン画像ユニットと、ミクロ画像に対応する干渉顕微画像ユニットの組合せを基軸とし、マクロ暗視野画像、マクロ偏光透過画像での観察までを網羅した複合画像観察装置です。

アプリケーション

ウェハ内部のマイクロクラック、脈離、ピンホール、表面キズ、マイクロクラック、スクラッチ、研磨痕検査、異物検査

ユニット構成

  ユニット 視野サイズ マクロ観察 ミクロ観察
1 シュリーレン画像
(φ75mm)
約55×40mm 表面のうねり、加工歪・条痕
2 暗視野画像 約10×7〜
20×15mm
表面のスクラッチ、われ、かけ、パーティクル
3-1 微分干渉顕微画像 対物レンズにより
倍率固定
表面のうねり、歪
3-2 微分干渉顕微画像 対物レンズにより
倍率固定
表面のスクラッチ、われ、かけ、パーティクル
4 偏光透過画像 15×15mm 内部の歪、ボイド、異常


観察事例

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