基板実装型圧力センサ

基板実装型圧力センサ

ハネウェルの検出素子設計は、化学エッチングシリコンダイアフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗で構成されています。圧力が変化すると、ダイアフラムと埋め込まれた抵抗器にひずみが生まれます。抵抗値は、かかる応力に比例して変化し、それが電気出力を発生します。

特長

  • 小型で高信頼性、優れた繰り返し性、高精度を誇り、さまざまな環境下で高い信頼性を示します。
  • ピエゾ抵抗素子が使用され、薄型の化学エッチングシリコンダイアフラムの表面に埋め込まれています。
  • 圧力が変化すると、ダイアフラムと埋め込まれた抵抗器にひずみが生まれ、かかる応力に比例して変化し、それが電気出力を発生します。

アプリケーション例

透析装置、血液分析、遠心分離および酸素・窒素ガス供給、空調機器、データストレージ、プロセス制御、工業用機械、ポンプ、ロボティクスなどで使用できます。