マクロ外観検査装置 NSXシリーズ

マクロ外観検査装置 NSXシリーズ

多様な照明設定と検査アルゴリズムにより様々な欠陥を検出すると共にNon-Killer欠陥の検出を最小限にする事を可能とした外観検査装置です。また、Xsoft(Operation Software)の採用により、操作性を飛躍的に向上させ、容易に検査レシピを作成することが可能です。

主な特長

  • 最適な照明設定と検査アルゴリズムの選択により様々な欠陥を検出可能
  • オプションで3D計測センサを搭載することにより3次元測長が可能
  • 検査レシピ作成を円滑に進める自動設定機能を充実させたXsoftを採用
  • Xsoftに対応したオフラインレビューソフト
  • 短時間にレシピ作成が可能で、短TAT化に貢献
  • 装置間のマッチング機能とレシピ共有
    • レシピ共有サーバ : SQLデータベースに保存
  • KERF検査機能

TrueADC(オプション ソフトウェア)

  • TrueADCは欠陥検査装置やレビュー装置などで取得した欠陥画像を元に、欠陥の自動分類を行い分類コードを付与するシステム

KERF検査機能(オプション)

事例