スパッタリング装置、PVD装置向けDC電源 (CMP)

スパッタリング装置、PVD装置向けDC電源 (CMP)

CPI社カナダ CMP Divisionでは、スパッタリング装置やPVD装置向けにDC電源を供給しています。CPI社の前身であるバリアン社時代から多くの実績を有しており、高い信頼性を誇っています。
(右の写真はCompactシリーズ)

Compactシリーズ (36kw DC電源/CPW2870B10)

特長
  • 高出力定格・・・ ≤ 36 kw / 1unit → 複数台連結することにより最大108 kw出力可能
  • アーク放電抑制機能内臓
  • 高信頼性・・・MTBF > 280,000時間
  • ディジタルインターフェース・・・RS-232、RS-422、RS-485 → リモートコントロール可能

GENI Replacement (12kw DC電源/CPW2870B5)

特長
  • 従来のGENI品の置き換え
    (バリアン社スパッタリング装置 3190/3290シリーズやM2i、NB2などに供給実績あり)
  • 完全空冷タイプ
  • 高信頼性・・・MTBF > 280,000時間

アークサプレッションキット

特長
  • CPI社DC電源との併用
  • アークカウンター、kwメータも供給可能
  • DC電源出力に応じた充実のラインナップ

Sold State Power Module

ソリッドステートパワーモジュールは、RFアンプの部品用に設計したハイパワーコンポーネントです。
  • 周波数帯:L、S、C、X、Ku バンド
  • 出力:35 W - 225 W
詳細はデータシートをご参照ください。(英文)

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