重ね合わせ検査装置(オーバーレイ検査装置)
本ページでは、Onto Innovation社のオーバーレイ検査装置についてご紹介します。オーバーレイ検査とは、露光後のマークの位置ズレを自動検査することを指します。 IVSᵀᴹ 380/280 Systemの資料ダウンロードはこちら>>
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多様な照明設定と検査アルゴリズムにより様々な欠陥を検出すると共にNon-Killer欠陥の検出を最小限にすることを可能とした外観自動検査装置です。また、Xsoft(Operation Software)の採用により、操作性を飛躍的に向上させ、容易に検査レシピを作成することが可能で...