ウェハプロセス向け装置

ウェハ検査ソリューション

ガラス、化合物、シリコン等各種ウェハの超高精度実装、異常解析に関して最適なソリューションを提供し、歩留まりの向上・不良品流出阻止に貢献します。

超高精度ボンディング装置

超高精度 R&DフリップチップボンダーFC300(高加圧対応)

超高精度 R&DフリップチップボンダーFC300(高加圧対応)

FC300は±0.5μmのボンディング精度を可能にする全自動フリップチップボンダーです。
最大φ300mmまでのサイズに対応しており、接着力も4000Nまでカバーしているため非常に幅広いアプリケーションに対...

メーカー
エスイーティー
SET CORPORATION SA

ウェハ表面欠陥観察装置

表面欠陥検査

表面欠陥検査

ガラス、化合物、シリコン等ウェハー加工時における、表面状態把握、異常解析が可能です。広大なエリアにおいてサブミクロン以下の欠陥を可視化させるマクロ検査ユニットから、非破壊でナノ領域の表面解析が可能なミクロ検査ユニット...

ウェハ外観自動検査装置

マクロ外観検査 Dragonfly

マクロ外観検査 Dragonfly

多様な照明設定と検査アルゴリズムにより様々な欠陥を検出すると共にNon-Killer欠陥の検出を最小限にすることを可能とした外観自動検査装置です。また、Xsoft(Operation Software)の採用により、...

メーカー
オントゥ・イノベーション
Onto Innovation, Inc.

厚み検査

高速非接触厚さ検査装置

高速非接触厚さ検査装置

非接触でウェハ、樹脂、支持基板およびSiC、GaN、サファイア等の化合物材料の厚みを高速で高精度に測定します。
測定はポイント計測、任意座標指定計測、X-Yラインスキャン計測はもとより、高いサンプリングレー...

メーカー
プレシテック
Precitec

デモルームのご案内

ウェハ検査デモルームのご案内

ウェハ検査デモルームのご案内

弊社デモルームには表面観察、厚み計測が可能な各種ユニットを常備設置しており、お客様の要求に合わせた各種実験が可能です。専門スタッフがおりますので何かお困りのことがございましたらいつでもご連絡下さい。