【高周波電源/電力測定】Bird社 パワーセンサー 4020/4027A/7037シリーズのご紹介
長らく半導体市場において、RF電源の校正・点検・品質管理を支えてきたのが、BIRD社製パワーセンサーシリーズです。
特に「4027Aシリーズ」は業界内でデファクトスタンダードとして長年活躍してきましたが、技術の進化とともに、測定精度・機能性などにおいて新たな世代への移行が進んでいます。
本ページでは各シリーズのパワーセンサーについて、ご紹介いたします。
4020/4027A/7037シリーズのご紹介
ここでは、各シリーズのパワーセンサー概要をご紹介いたします。詳細については、各製品リンクをクリック頂ければご確認頂けます。
スタンダードパワーセンサー 4020シリーズ
BIRD社パワーセンサーのスタンダードシリーズです。コネクターの着脱が可能で、1台で広帯域に対応しているため、汎用性が高いパワーセンサーです。
別売りのパワーメーターとセットで使用し、ディスプレイ内で測定結果の読取が可能性がございます。
周波数レンジ:1.5MHz〜3.0GHz(センサーに依存)
パワーレンジ:300mW〜10kW(センサーに依存)
測定信号:CW(正弦波)
高精度パワーセンサー 4027Aシリーズ
4027Aシリーズは、半導体市場向けの高精度RF(高周波)計測を目的として開発されたパワーセンサーです。
品質保証部門や製造プロセス、保守メンテナンスで非常に有用となり得ることをお約束いたします。
周波数レンジ:250kHz〜170MHz(センサー型番に依存)
パワーレンジ:300mW〜10kW(センサー型番に依存)
測定信号:CW(正弦波)
【精度±0.5%】超高精度RFパワーセンサー
±0.5%の超高精度パワーセンサー7037は、BIRD社が独自のカロリーメーター技術の発展により開発した、従来のRFパワー測定を一新する新世代パワーセンサーです。製品紹介ページでは、測定精度などの基本情報に加え、マルチレベルパルスやパルス波形のリアルタイム解析など、最新の半導体プロセスのレシピに役立つ機能を紹介します。また、業界標準の4027シリーズセンサーと比較しての機能強化についてもご紹介します。
各シリーズの特長と用途別のおすすめシリーズ
ここでは、上記3シリーズの製品の主要スペックを比較します。
製品仕様 | 4020シリーズ | 4027Aシリーズ | 7037シリーズ |
周波数 | 1モデルで広帯域に対応 | 周波数毎に本体が必要 | 周波数毎に本体が必要 |
測定精度 | 読取値±3% | 読取値±1%(メーカ指定校正ポイントに限る) その他読取値±2% |
読取値±0.5%(メーカ指定校正周波数に限る) その他読取値±1% |
変調 | CW | CW | CW、パルス波(4段階まで識別可能) |
測定機能 | アベレージ電力 | アベレージ電力 | ・アベレージ電力 ・タイムドメイン分析機能 |
測定値の表示 | 4421A パワーメータ | 4421A パワーメータ | PCソフトにて表示可能 |
7037シリーズのタイムドメイン機能
各シリーズの特長と弊社での販売実績による用途別のおすすめシリーズを紹介します。もし現在の使用用途と照らし合わせて下記/上位機種への更新をご希望される方は先ずはご相談からでも問題ございませんので、お問い合わせ下さい。
特長 | こんな用途におすすめ | |
4020シリーズ | ・1台で広帯域に対応 ・コネクタの着脱が可能 ・国内校正が可能 |
・おおまかなパワー測定を行いたい ・様々なコネクタへ交換して使用したい ・色々な周波数帯の測定を行いたい |
4027Aシリーズ | ・同業界で最も使われている ・高精度な測定が可能 |
・高精度にパワーを測定したい ・CWのみの測定しか行わない |
7037シリーズ | ・パルス波を測定可能 ・業界最高精度 ・分析機能付 |
・パルス波の状態を確認したい ・最高精度でのパワー測定を行いたい ・電力分析を行い、各種改善に取り組みたい |
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BIRD Electronic|マルチファンクションパワーメーター Model4421A
BIRD社 高周波(RF)計測器
丸文株式会社は米国Bird Electronic Corporation(バードエレクトロニック、以下BIRD社)の日本総代理店として、技術サービス、カスタマーサービスの充実に努めています。
バード社は1942年に計測器の専門メーカーとして設立。1952年にはJ.R.BirdがそれまでのRF測定装置の概念を変える画期的な技術の礎を築きました。
そして1995年にRFコンポーネントの専業メーカであるTX-RX社、2010年にはRF信号の記録・解析装置を展開するX-COM社をグループとして迎え入れ、ワイヤレス通信、デジタル放送、半導体製造、医療等様々な分野の技術発展を支えるリーディング・カンパニーとして常に時代の先端を走り続けています。
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