Emission・OBIRCH複合装置 | Meridhian
Emission、OBIRCH、レーザプロービングによる動的解析まで、解析ニーズを幅広くカバーできる装置です。
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Emission、OBIRCH、レーザプロービングによる動的解析まで、解析ニーズを幅広くカバーできる装置です。
FIBのイオン源にXe プラズマイオンを搭載しております。 GaタイプのFIBでは得られない大電流高速加工により、広範囲の断面作成、3D解析ならびにTEM試料、各種分析の搭載が可能な装置です。
『ELITE解析®』とは、半導体・電子部品・実装基板などにおけるリーク・ショートの故障部位を非破壊でピンポイントに特定することが可能な技術です。故障解析の初期段階で、故障部位と正確に特定することで、その後の解析業務を大幅に効率化します。こちらのページではELITEの基本仕...