ウエハ欠陥撮像事例集
製品の製造プロセスにおいて外観検査は状態を把握し、品質向上・歩留まり向上を図る上で不可欠です。当ページでは実際に撮像したウエハ欠陥の撮像事例を紹介します。当例のように光学系の提案から、お客様毎による装置カスタマイズまで一貫して提案可能ですので、お気軽にお問合せ下さい。
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各種ウェハの表裏面およびエッジ・ノッチ部分の各種欠陥を独自の光学技術を駆使して、顕微鏡でも発見しづらい、微小な欠陥や、なだらかな凹凸などを検出します。 また、鏡面に限らず、エッチング面やBG痕などの様な粗さのある面の中のキズ、クラック、汚れなどの欠陥の検出が可能です。 昭和電...