ウエハ欠陥撮像事例集
製品の製造プロセスにおいて外観検査は状態を把握し、品質向上・歩留まり向上を図る上で不可欠です。当ページでは実際に撮像したウエハ欠陥の撮像事例を紹介します。当例のように光学系の提案から、お客様毎による装置カスタマイズまで一貫して提案可能ですので、お気軽にお問合せ下さい。
商品基礎情報
ウエハ面内ノッチ部分を拡大した様子
ウエハ表面の各種撮像事例
こちらは、実際に撮像できた各欠陥種の実例を掲載しています。
プロセスを経ることで発生する欠陥種は多岐に渡りますが、試行を繰り返すことにより下記の通り様々な欠陥を撮像することが可能です。
サンプルをお預かりし、撮像実験を行い、最適な光学系及び装置化までのご提案をいたします。
ぜひ一度お気軽にお問い合わせください。
撮像事例_キズ
撮像事例_キズ
目視や顕微鏡では検出困難なキズを特殊光学系で映し出します。
鏡面でも梨地面でも検査可能です。
撮像事例_クラック
撮像事例_クラック
目視では検出困難なクラックを特殊光学系で映し出します。
撮像事例_汚れ・シミ
撮像事例_汚れ・シミ
あらゆる汚れやシミを特殊光学系で映し出します。
鏡面でも梨地面でも検査可能です。
撮像事例_スリップ
撮像事例_スリップ
高感度でスリップを映しだします。
本数、長さ、長さ合計、発生位置などが出力可能です。
撮像事例_研削痕 面焼け
撮像事例_研削痕 面焼け
砥石の状態によるBG痕の不良状態を定量的に監視します。
撮像事例_面荒れ
撮像事例_面荒れ
鏡面の中の様々な面荒れを見つけます。
撮像事例_エッジ （チッピング 異物）
撮像事例_エッジ
(チッピング
異物)
エッジ部分の欠けや異物混入、汚れなどを見つけます。
撮像事例_エッジキズ 荒れ
撮像事例_エッジキズ 荒れ
エッジ部分のキズや荒れ、異物、汚れなどを見つけます。
撮像事例_ノッチ
撮像事例_ノッチ
暗視野画像 白い輝点はPSL粒子1μm
ノッチ部分のキズや荒れ、異物、汚れなどを見つけます。ノッチ部のAPEXの検査も可能です。
検出感度：明視野5μm、暗視野1μm